Sistema di posizionamento XYZ 782300:179.26

a ponteper l'industria dei semiconduttoriper camera bianca

Portale XXL XYZ con mandrino a vuoto Personalizzabile: - Ideale per l'ispezione automatizzata di superfici con variazione della messa a fuoco - Progettato per campioni di peso fino a 50 kg (escluso lo stadio a vuoto) - Smorzamento passivo delle vibrazioni e disaccoppiamento delle vibrazioni dell'edificio (classe di qualità della camera di misura standard 3 secondo VDI 2627) - Durata enormemente lunga con 1.000.000 di cicli completi e un intervallo di manutenzione di 500.000 cicli completi rispettivamente ogni 2 anni Questo sistema di posizionamento muove un mandrino a vuoto su un'area di 1000 x 1000 mm. Il sistema standard PMT160-SM è fissato all'asse di traslazione per il sensore specifico del cliente, utilizzato per la variazione della messa a fuoco. Gli assi sono completamente chiusi, per evitare contaminazioni e interferenze. Specifiche: - Sistema standard: PLT320-SM (XY) / PMT160-SM (Z) - Corsa: 1000 mm (XY) / 100 mm (Z) - Ripetibilità: ± 3,9 - ± 4,4 µm (XY) / ± 1,9 - ± 2,4 µm (Z) - Velocità di posizionamento: 30 mm/s (XY) / 10 mm/s (Z) - Carico massimo: 490 N (XY) / 40 N (F) / ± 45 N (Z) - Motore: Motore passo-passo (XYZ) - Guida: Vite a sfera (XYZ) - Führung: Guida profilata (XY) / Cuscinetti a rulli incrociati (Z) - Feedback: Circuito aperto (XYZ) - Länge x Breite x Höhe: 2250 x 1500 x 1500 mm Opzioni personalizzate: - Con scala lineare per precisioni fino a 0,3 µm - Configurazione modulare del sistema - Armadio di sicurezza - Configurazione speciale per semiconduttori, biotecnologie, prodotti farmaceutici - Versioni per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Controllo del movimento pronto per l'uso con controllore preconfigurato e software di prova incluso - Sviluppo di soluzioni individuali con progettazione 3D per il compito di posizionamento