Macchina lucidatrice per cristalli FTB300FP

per waferindustrialecon cambio testa automatico

Lo strumento CMP FTB300FP è stato sviluppato congiuntamente da JieXin e da un team tecnico giapponese. Questa apparecchiatura è progettata per garantire un’elevata produttività e un ottimo rapporto costo-efficacia, migliorando al contempo le prestazioni di planarizzazione per soddisfare requisiti tecnici più elevati (GBIR, SFQR). Dimensioni del wafer ≤12 pollici GBIR ＜100 nm Caricamento e scaricamento Caricamento a secco, scaricamento a umido La scelta ideale come alternativa nazionale di fascia alta Alternativa nazionale di fascia alta improntata all’affidabilità e alla stabilità Elevata produttività Dotato di 8 teste di lucidatura e 3 stazioni di lavoro per una maggiore produttività. Integrazione flessibile dei processi Lo scaricatore robotizzato può essere combinato con il sistema di pulizia per il trattamento di asciugatura. Basso costo complessivo I materiali di consumo sono facili da sostituire, hanno una lunga durata e riducono quindi i tempi di fermo macchina.