Macchina lucidatrice in silicio FTB150MP

per waferindustriale

L'FTB150MP è un sistema CMP da 6 pollici progettato per applicazioni di laboratorio in base alle esigenze dei clienti. È compatibile con vari materiali e dispone di unità di lucidatura ad alte prestazioni per ottenere una planarità superficiale del wafer estremamente elevata. Grazie al suo ottimo rapporto qualità-prezzo, rappresenta la soluzione di laboratorio ideale per requisiti di processo ad alta precisione. Dimensioni del wafer ≤6 pollici Materiale del wafer Si, SiC, GaN, ecc. Elegante e compatto, dotato di tutte le funzionalità Dedicato alla ricerca e sviluppo di base e alle applicazioni in settori di piccole dimensioni Dimensioni compatte Design a testa singola e piastra singola altamente integrato. Integrazione flessibile dei processi La struttura ad alta rigidità consente l’applicazione di una pressione maggiore; può essere equipaggiata con un condizionatore a tampone diamantato o a spazzola in nylon. Convenienza Soluzioni da laboratorio convenienti.