Macchina lucidatrice per cristalli TLT300MP

per waferindustrialedi precisione

Il TLT300MP è un impianto CMP da 12 pollici progettato per applicazioni di laboratorio in base alle attuali esigenze dei clienti. Questo impianto è dotato di una tecnologia innovativa proprietaria, unità di lucidatura ad alte prestazioni e compatibilità sia con wafer da 8 pollici che da 12 pollici. Supporta vari materiali e garantisce un’elevatissima planarità della superficie del wafer. Grazie alla flessibilità di integrazione nei processi, soddisfa i requisiti delle tecnologie di produzione ad alta precisione. Dimensioni del wafer ≤12 pollici Materiale del wafer Si, SiC, GaN, ecc. Testine di lucidatura 2 Piastra di appoggio 1 Soddisfa le diverse esigenze dei clienti in vari settori Può essere applicato in modo flessibile nella ricerca e sviluppo e nella produzione su piccola scala in tutti i settori dell’industria dei semiconduttori Testa di lucidatura multizona Opzionale da 8 pollici/12 pollici Elevata compatibilità Testa di lucidatura multizona e integrazione flessibile dei processi, soddisfa i requisiti delle tecnologie di processo avanzate.