Il forno per la crescita di cristalli di SiC consente, in un’atmosfera specifica, ai materiali a base di carburo di silicio di subire processi quali il trasporto in fase vapore, reazioni chimiche e simili, fino a ottenere, in ultima analisi, lingotti monocristallini di SiC di alta qualità su un seme.
Dimensioni
6 pollici/8 pollici
Convessità durante la crescita cristallina
1-3 mm
Sistema di controllo intelligente ad alta precisione, servizio personalizzato
Controllo multizona ad alta precisione
Sfruttamento del sistema di controllo intelligente per ottenere un controllo centralizzato remoto
Elevata produttività, elevata stabilità e utilizzo ottimale dello spazio
Soluzioni personalizzate disponibili
Il forno di crescita cristallina per materiali al silicio è un’apparecchiatura fondamentale per la crescita di lingotti di silicio monocristallino (mono-Si) di elevata purezza e alta qualità. Utilizza tipicamente il metodo Czochralski per la crescita dei lingotti di mono-Si. Fonde i materiali al silicio tramite un riscaldatore in grafite in atmosfera inerte, quindi immerge il seme nel silicio fuso. Controllando con precisione la velocità di sollevamento e rotazione del seme e quella del crogiolo, gli atomi di silicio vengono disposti in modo ordinato, strato dopo strato, sul seme, consentendo così la crescita di lingotti di silicio monocristallino privi di dislocazioni. Vanta vantaggi tecnici quali il design a grande diametro, il controllo accurato della temperatura e il controllo automatico; il diametro dei lingotti ottenuti varia da Φ360 a Φ600 mm, con una lunghezza minima di 2 m.
Software di simulazione professionale
Utilizzo di STR, un software di simulazione professionale, per simulare l’intero ciclo di crescita dei lingotti di SiC, fornendo ai clienti soluzioni complete per la crescita.
Controllo intelligente
Sfruttamento di un sistema di controllo intelligente per ottenere un controllo centralizzato a distanza.
Personalizzabile
Offerta di metodi di riscaldamento personalizzati (riscaldamento a resistenza/riscaldamento a induzione) in base alle esigenze.
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