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Microsaldatrice per chip eutettica NOVA Pro
per die attachflip-chipa epossido

Microsaldatrice per chip eutettica - NOVA Pro - ASM Assembly Systems - per die attach / flip-chip / a epossido
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Caratteristiche

Tecnologia
flip-chip, a epossido, per die attach, eutettica, multi-chip, termica, chip-on-submount
Specificazioni
automatizzata
Applicazioni
per l'industria dei semiconduttori, per microassemblaggi, per wafer, per sensore, MEMS
Altre caratteristiche
di alta precisione, configurabile, di grande superficie
Precisione di posizionamento

1 µm

Descrizione

Panoramica del prodotto Il NOVA Pro di ASMPT AMICRA è un sistema per die attach e flip‑chip progettato per assemblaggi ad alta precisione. Offre precisione di posizionamento fino a ±1,0 µm @ 3σ e supporta operazioni di bonding a temperature superiori a 350°C con forze di giunzione elevate. Integra allineamento dinamico e riscaldamento del substrato con laser, supportando processi di termocompressione (TCB) e attività correlate ai TSV.

Applicazioni / Mercati
  • Optoelettronica
  • Fotonica su silicio
  • Assemblaggio VCSEL e diodi laser
  • Assemblaggio fotodiodi
  • Fissaggio lenti con adesivi UV
  • Assemblaggi Active Optical Cable (AOC)
  • Package per transceiver
  • Flip chip
  • 3D IC / 2.5D IC
  • Termocompressione (TCB)
  • Processi Through‑Silicon Via (TSV)
  • Chip on Chip, Chip on Wafer, Chip on Substrate
  • Multi‑Chip Module (MCM)
  • Die attach con epossidici per packaging avanzato
  • Die attach eutettico in‑situ
  • Assemblaggio MEMS e sensori
  • WLP / eWLP


Caratteristiche principali
  • Bonder di die / flip‑chip ad alta precisione
  • Precisione di posizionamento: ±1,0 µm @ 3σ
  • Capacità di bonding a temperature > 350°C con elevate forze
  • Tempo di ciclo < 3 s
  • Concetto macchina modulare per micro‑assemblaggio
  • Bonding eutettico tramite diode‑laser, piastra riscaldante o stamping/dispensing di epossidici
  • Capacità multi flip‑chip
  • Mapping wafer
  • Ispezione e misura post‑bond
  • Controllo attivo della forza di bond
  • Metodo di allineamento dinamico e riscaldamento del substrato con laser


Autoloading
  • Fino a wafer da 12"
  • Wafer da 300 mm
  • Wafer substrato da 450 mm


Opzionale
  • Polimerizzazione UV
  • Dispensing
  • Moduli aggiuntivi disponibili


Specifiche tecniche
  • Precisione di posizionamento: ±1,0 µm @ 3σ
  • Area di lavoro substrato: 550 x 600 mm
  • Tempo di ciclo: < 3 s
  • Controllo attivo della forza di bond
  • Metodi di bonding eutettico: diode‑laser, piastra riscaldante, stamping e dispensing di epossidici
  • Supporto per termocompressione (TCB) e processi TSV
  • Multi flip‑chip
  • Capacità di mapping wafer
  • Ispezione / misura post‑bond
  • Allineamento dinamico e riscaldamento del substrato con laser
  • Capace di effettuare bonding a temperature superiori a 350°C
  • *Le prestazioni dipendono dal package e dai materiali

Cataloghi

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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.