Termoregolatore senza monitor Semistat S 1200

termoelettricodi processo

I sistemi di controllo della temperatura del punto di utilizzo (POU) possono ridurre il consumo energetico fino al 90% rispetto ai sistemi basati su compressori. L'ingombro minimo, con la possibilità di installazione a pavimento nel punto di utilizzo, riduce al minimo l'uso della camera bianca. Il controllo rapido e preciso dei profili di temperatura del processo con un'approssimazione di ±0,1 °C migliora l'omogeneità tra wafer e wafer. Caratteristiche Termostato di processo termoelettrico a basso consumo energetico Funzionamento silenzioso e a basso livello di vibrazioni grazie alla tecnologia di raffreddamento senza refrigerante Non sono necessari filtri o componenti DI Con connessione per lo spurgo con aria secca pulita (CDA) per prevenire la condensa Utilizzo di fluidi perfuorurati Sistema raffreddato ad acqua Dimensioni complessive compatte e peso ridotto Volume estremamente ridotto di liquido di trasferimento del calore Conforme alle norme SEMI S2 e F47 Dati tecnici (secondo DIN 12876) Stabilità di temperatura 0.1 ± K Potenza del riscaldatore min. 3 kW Volume di riempimento minimo 1 L Volume di riempimento massimo 1.3 L Dimensioni (LxPxA) 116 x 232 x 470 mm Peso 15 kg Alimentazione Collegamento al PSC