Sistema di termoregolazione Semistat S 4400

Panoramica del prodotto
Il Semistat S 4400 è un'unità di controllo temperatura termolettrica Point-of-Use progettata per applicazioni di processo che richiedono regolazione rapida e precisa. Ingombro ridotto e possibilità di installazione sotto pavimento nel punto d'uso riducono l'occupazione di spazio nella camera pulita. Il controllo preciso a ±0,1 K migliora l'omogeneità wafer-to-wafer e consente risparmi energetici rispetto ai sistemi a compressore.

Caratteristiche

• Termostato di processo termolettrico a basso consumo energetico
• Funzionamento silenzioso e a basse vibrazioni grazie alla tecnologia di raffreddamento senza refrigerante
• Non sono necessari filtri o componenti DI
• Connessione per spurgo con aria pulita e secca (CDA) per evitare condensa
• Uso di fluidi perfluorurati come fluido termovettore
• Versione raffreddata ad acqua
• Dimensioni compatte e peso ridotto
• Volume estremamente basso di fluido termovettore
• Conforme a SEMI S2 e F47

Campo di lavoro

• Temperatura minima di lavoro: -20 °C
• Temperatura massima di lavoro: 90 °C
• Stabilità della temperatura: ±0,1 K

Capacità di raffreddamento (esempi)
Temperatura — Capacità di raffreddamento 50 Hz — Capacità di raffreddamento 60 Hz
20 °C — 4,4 kW — 4,4 kW
10 °C — 3,5 kW — 3,5 kW
0 °C — 2,6 kW — 2,6 kW
-10 °C — 1,65 kW — 1,65 kW
-20 °C — 0,7 kW — 0,7 kW

Dati tecnici (secondo DIN 12876)

• Intervallo di temperatura di lavoro: -20 ... 90 °C
• Stabilità della temperatura: ±0,1 K
• Potenza minima di riscaldamento: 12 kW
• Volume di riempimento min.: 2,5 L
• Volume di riempimento max.: 2,8 L
• Dimensioni (L×P×A): 194 x 300 x 560 mm
• Peso: 38 kg
• Alimentazione: connessione PSC