Bagno termostatico compatto Semistat S 2400

a temperatura costanteper termostatocon raffreddamento ad acqua

Descrizione del prodotto
Termostato di processo termoelettrico Point-of-Use (POU) progettato per il controllo preciso della temperatura in processi per semiconduttori e applicazioni di laboratorio. Consente una riduzione del consumo energetico fino al 90% rispetto ai sistemi a compressore. Design compatto che permette l'installazione sotto il pavimento nel punto d'uso per ridurre l'ingombro in camera bianca. Controllo rapido e accurato dei profili di temperatura di processo a ±0,1 K, migliorando l'omogeneità wafer-to-wafer.

Caratteristiche

• Termostato di processo termoelettrico a basso consumo
• Raffreddamento privo di refrigerante: funzionamento silenzioso e a bassa vibrazione
• Non richiede filtri o componenti DI
• Connessione per spurgo con aria pulita e secca (CDA) per prevenire la condensazione
• Utilizzo di fluidi di trasferimento termico perfluorinati
• Disponibile in versione raffreddata ad acqua
• Ingombro e peso contenuti
• Volume del fluido di trasferimento molto ridotto
• Conforme a SEMI S2 e F47

Campo operativo

• Temperatura minima di lavoro: -20 °C
• Temperatura massima di lavoro: 90 °C
• Stabilità della temperatura: 0.1 ± K

Capacità di raffreddamento
Temperatura | Capacità di raffreddamento 50 Hz | Capacità di raffreddamento 60 Hz
20 °C | 2.45 kW | 2.45 kW
10 °C | 1.93 kW | 1.93 kW
0 °C | 1.40 kW | 1.40 kW
-10 °C | 0.88 kW | 0.88 kW
-20 °C | 0.35 kW | 0.35 kW

Informazioni aggiuntive

• Codice articolo: L003277
• Categoria dispositivo: Termostati di processo termoelettrici / Termostati di processo

Specifiche tecniche

• Intervallo di temperatura di lavoro: -20 ... 90 °C
• Stabilità della temperatura: 0.1 ± K
• Potenza minima di riscaldamento: 6 kW
• Volume minimo di riempimento: 1.25 L
• Volume massimo di riempimento: 1.6 L
• Dimensioni (L×P×H): 116 x 300 x 560 mm
• Peso: 27 kg (peso netto 26.81 kg)
• Alimentazione / connessione: Connection to PSC