H3-DB20HF è un'apparecchiatura di posizionamento per pre-sinterizzazione completamente automatica progettata per test R&S e produzione di massa di moduli SiC. La macchina presenta un design modulare con linee di flusso standard che possono essere collegate in serie e personalizzate in base alle esigenze produttive.
Funzioni primarie- Preriscaldamento
- Pre-pressurizzazione (Preload)
- Riscaldamento dell'ugello
- Posizionamento ad alta pressione
Punti di forza del design- Design modulare che consente la connessione in serie delle linee di flusso standard
- Adatto sia per test di R&S che per produzione di massa di moduli SiC
- Supporta la gestione multichip con cambio flessibile degli utensili di prelievo
Aree di applicazione- Fotonica
- Dispositivi di potenza
- Dispositivi RF a microonde
- Settore dei veicoli a nuova energia
Parametri tecnici (sintesi)- Montaggio riferimento fronte/retro — metodo di montaggio
- Montaggio a pressa calda — il processo di montaggio include stampa e trasferimento di film d'argento
- Scenari applicativi — moduli SiC
Caratteristiche / specifiche tecniche- Precisione di montaggio: ±3 μm (lastra standard); ±7 μm (dipende dall'applicazione)
- Efficienza dell'apparecchiatura: UPH ≈ 1000 (dipende dall'applicazione)
- Capacità multichip: fino a 5 diversi utensili di prelievo; movimento fisso con cambio flessibile
- Riscaldamento leghe: riscaldamento elettrico, controllo termostatico, temperatura massima 250°C
- Compatibilità alimentazione: 2" GEL-PAK, telaio wafer 12"
- Precisione di bonding: ±5 μm @ 3σ precisione di posizionamento; ±0.1° @ 3σ precisione di rotazione