DescrizioneIspezione ottica automatizzata (AOI) per substrati di circuiti integrati: il Galaxy 5Cχ supporta tecnologia linea/spazio minima fino a 5 µm. Progettato per la produzione ad alto volume, unisce immagini a colori ad alta risoluzione, ottica avanzata e motori di rilevamento per individuare difetti di processo e assemblaggio su substrati avanzati.
Capacità principali- Ispezione fino a 5 µm linea/spazio per tecnologie avanzate di substrati IC
- Telecamera a colori ad alta risoluzione per miglior riconoscimento delle caratteristiche
- Tecnologia ottica Prisma™ Gen II per illuminazione flessibile e massimo contrasto
- Motore di rilevamento Spark™ 3.0 multipiattaforma con algoritmi personalizzabili
- Bilanciamento ottimizzato tra risoluzione e velocità di scansione per elevata produttività
Caratteristiche principali- Motori lineari per movimento fluido e silenzioso
- Piattaforma meccanica compatta per integrazione in produzione
- Hardware di 6ª generazione per prestazioni e affidabilità migliorate
- Blocco di illuminazione potenziato con opzione X-WAVE™ multi‑onda
- Configurazione rapida e intuitiva dei job per ridurre i tempi di cambio
- Compatibile con automazione AMHS frontale o movimentazione robotica
Opzioni- Fi™ — opzione ispezione finale per schede finite
- +2DM™ metrologia — misura delle dimensioni del pannello
- +2CD™ metrologia — misurazione 2D degli elementi di circuito
- +3DH™ metrologia — misurazione 3D dell'altezza degli elementi di circuito
- +3DP™ metrologia — profilatura 3D degli elementi di circuito
- LDI™ — opzione ispezione foratura laser
- CDB™ / CDBIC™ — classificazione dei difetti e mappatura virtuale dei difetti
- VVS™ — sistema di verifica virtuale
- X-WAVE™ — opzione di illuminazione multi‑onda
Specifiche tecniche- Applicazione: Ispezione ottica automatizzata (AOI) per substrati di circuiti integrati
- Capacità minima linea/spazio: 5 µm
- Telecamera: telecamera a colori ad alta risoluzione
- Tecnologia ottica: Prisma™ Gen II (illuminazione flessibile, alto contrasto)
- Motore di rilevamento: Spark™ 3.0 (multipiattaforma, algoritmi personalizzabili)
- Sistema di movimento: motori lineari per movimento fluido e silenzioso
- Progettazione meccanica: piattaforma compatta adatta all'integrazione
- Generazione hardware: hardware di 6ª generazione
- Illuminazione: blocco di illuminazione potenziato; X-WAVE™ opzionale
- Opzioni metrologia: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
- Opzioni aggiuntive: Fi™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™
- Compatibilità automazione: compatibile con AMHS frontale o movimentazione robotica