Ispezione ottica automatizzata (AOI) per substrati IC con risoluzione minima linea/spazio fino a 4 µm.
Galaxy 4Cχ è l'ultima generazione di sistemi AOI di CIMS, dotata di fotocamera a colori e ottica Prisma™ Gen II per acquisizione di immagini ad alto contrasto a velocità di produzione.
Progettato per supportare la produzione ad alto volume di substrati IC di nuova generazione combinando imaging ad alta risoluzione e algoritmi di rilevamento configurabili gestiti da Spark™ 3.0.
Opzioni modulari e pacchetti di metrologia consentono flussi di lavoro di ispezione e misura in linea per pannelli e componenti di circuito.
Punti chiave
Motori lineari per movimento fluido e silenzioso
Piattaforma meccanica compatta per integrazione in fabbrica
Architettura hardware di 6ª generazione
Blocco di illuminazione migliorato con opzione X-WAVE™ multi-onda
Configurazione rapida e intuitiva per nuovi job
Compatibile con automazione frontale AMHS o manipolazione robotica
Opzioni
Fi™ — opzione di ispezione finale per schede finite
+2DM™ metrologia — misura delle dimensioni del pannello
+2CD™ metrologia — misura 2D degli elementi di circuito
+3DH™ metrologia — misura 3D dell'altezza degli elementi
+3DP™ metrologia — profilatura 3D degli elementi di circuito
LDI™ — opzione di ispezione foratura laser
CDB™/CDBIC™ — classificazione dei difetti e mappatura virtuale dei difetti
VVS™ — sistema di verifica virtuale
X-WAVE™ — illuminazione multi-onda
Specifiche tecniche
Applicazione: Ispezione ottica automatizzata (AOI) per substrati IC
Risoluzione minima linea/spazio: 4 µm
Fotocamera: Fotocamera a colori
Tecnologia ottica: Prisma™ Gen II
Motore di rilevamento: Spark™ 3.0 (cross-platform)
Sistema di movimento: Motori lineari per movimento fluido e silenzioso
Meccanica: Piattaforma compatta per layout di fabbrica densi
Generazione hardware: Hardware di 6ª generazione
Illuminazione: Blocco di illuminazione migliorato (X-WAVE™ opzionale)
Compatibilità automazione: AMHS frontale o robot
Opzioni di metrologia: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
Altre opzioni: Fi™ ispezione finale, LDI™ ispezione foratura laser, CDB™/CDBIC™ classificazione dei difetti, VVS™ verifica virtuale
* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.