DescrizioneIspezione finale dei pannelli per substrati IC altamente avanzati e HDI a linee ultra-fini con capacità minima linea/spazio fino a 5 µm. Galaxy Fi 5Cχ, l'ultimo sistema di ispezione finale basato su pannelli di CIMS, è progettato per supportare l'ispezione finale di substrati IC avanzati e HDI a linee ultra-fini. È dotato di una camera a colori e può scansionare tecnologie con larghezza linea/spazio fino a 5 µm.
La tecnologia ottica all'avanguardia del sistema per l'ispezione finale è progettata per ottenere il massimo contrasto su pannelli coperti da solder mask e prodotti con diversi processi di finitura metallica. Questa tecnologia supporta l'acquisizione di immagini ad alta risoluzione e garantisce la rilevazione affidabile dei difetti su rame placcato, placcato oro/OTC, solder mask e laminato nudo.
Dotato di acquisizione immagini di ultima generazione e capacità software avanzate, la famiglia Galaxy è rinomata per l'eccezionale rilevamento ottenuto con il più basso tasso possibile di falsi allarmi. Galaxy Fi 5Cχ è alimentato da Spark™ 3.0 – un innovativo motore di rilevamento multipiattaforma.
Punti salienti- Motori lineari per movimento fluido e silenzioso
- Struttura meccanica robusta
- Tavola a vuoto automatizzata
- Firmware di elaborazione delle immagini ad alte prestazioni
- Computer di nuova generazione per elaborare grandi quantità di dati
- Impostazione rapida e intuitiva per nuovi job
- Compatibile con automazione AMHS frontale/posteriore o robot
Opzioni- +2DM™ metrologia – misurazione delle dimensioni del pannello
- +2CD™ metrologia – misurazione 2D degli elementi del circuito
- +3DH™ metrologia – misurazioni 3D dell'altezza degli elementi del circuito
- +3DP™ metrologia – profilazione 3D degli elementi del circuito
- CDB™/CDBIC™ – classificazione dei difetti e mappatura virtuale dei difetti
- X-WAVE™ – illuminazione multi-onda
Specifiche tecniche- Capacità minima di ispezione linea/spazio: 5 µm
- Imaging: camera a colori, acquisizione di immagini ad alta risoluzione
- Tecnologia ottica ottimizzata per solder mask, rame placcato, placcato oro/OTC e laminato nudo
- Motore di rilevamento: Spark™ 3.0 motore di rilevamento multipiattaforma
- Movimento: motori lineari per movimento fluido e silenzioso
- Meccanica: struttura robusta con tavola a vuoto automatizzata
- Elaborazione: firmware di elaborazione immagini ad alte prestazioni e computer di nuova generazione per grandi volumi di dati
- Usabilità: configurazione dei job rapida e intuitiva
- Automazione: compatibile con automazione AMHS frontale/posteriore o robot
- Opzioni di metrologia e analisi disponibili: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™, CDB™/CDBIC™, X-WAVE™