DescrizioneAOI per substrati IC e HDI a linee ultrafini con supporto minimo linea/spazio fino a 10 µm. Galaxy 10Cχ, l'ultima generazione di sistemi AOI di CIMS, dotato di telecamera a colori, è progettato per supportare la produzione ad alto volume di substrati IC avanzati e HDI a linee ultrafini. È in grado di ispezionare tecnologie con larghezza linea/spazio fino a 10 µm e combina l'acquisizione di immagini ad alta risoluzione con algoritmi di rilevamento personalizzabili. La tecnologia ottica Prisma™ Gen II offre copertura d'illuminazione flessibile e massimo contrasto per consentire l'acquisizione di immagini ad alta risoluzione ad alta velocità di scansione. Abbinato a capacità avanzate di acquisizione immagini e software, la famiglia Galaxy garantisce un rilevamento accurato con un basso tasso di falsi allarmi. Galaxy 10Cχ è alimentato da Spark™ 3.0, il motore di rilevamento multipiattaforma di ultima generazione di CIMS.
Punti salienti- Motori lineari per un movimento fluido e silenzioso
- Piattaforma meccanica compatta
- Hardware di 6ª generazione
- Blocco di illuminazione migliorato
- Impostazione rapida e intuitiva per nuovi job
- Compatibile con automazione AMHS frontale o robot
Opzioni- Fi™ – opzione di ispezione finale per schede finite
- +2DM™ metrologia – misurazione dimensioni pannello
- +2CD™ metrologia – misurazione 2D degli elementi del circuito
- +3DH™ metrologia – misurazioni 3D dell'altezza degli elementi del circuito
- +3DP™ metrologia – profilatura 3D degli elementi del circuito
- LDI™ – opzione ispezione foratura laser
- CDB™/CDBIC™ – classificazione dei difetti e mappatura virtuale dei difetti
- VVS™ – sistema di verifica virtuale
- X-WAVE™ – illuminazione multi‑onda
Specifiche tecniche- Applicazione: AOI per substrati IC e HDI a linee ultrafini
- Larghezza linea/spazio minima supportata: fino a 10 µm
- Telecamera: telecamera a colori per acquisizione ad alta risoluzione
- Tecnologia ottica: Prisma™ Gen II per copertura luminosa flessibile e contrasto massimo
- Motore di rilevamento: Spark™ 3.0 motore di rilevamento multipiattaforma
- Prestazioni: imaging ad alta risoluzione ad alta velocità di scansione con algoritmi di rilevamento personalizzabili
- Piattaforma: piattaforma meccanica compatta con motori lineari per movimento fluido e silenzioso
- Generazione hardware: hardware di 6ª generazione
- Illuminazione: blocco di illuminazione migliorato, opzione X-WAVE™ multi‑onda disponibile
- Automazione: compatibile con automazione AMHS frontale o robot
- Opzioni di metrologia: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
- Aggiunte di ispezione: Fi™ ispezione finale, LDI™ ispezione foratura laser
- Opzioni software: CDB™/CDBIC™ classificazione dei difetti e mappatura virtuale; VVS™ sistema di verifica virtuale
- Progettato per: produzione ad alto volume con basso tasso di falsi allarmi