Macchina di evaporazione sotto vuoto per cannone ad elettroni DXMC-500A

Il DXMC-500A è un sistema PVD a fascio di elettroni per deposizione evaporativa di metalli (inclusi metalli refrattari) e alcuni ossidi. Presenta deflessione del fascio a 270°, pulizia a scarica luminosa plasma e controllo di processo integrato, adatto a laboratorio e produzione leggera.

Parametri tecnici principali

• Camera a vuoto: acciaio inox SUS304, dimensioni Φ500 mm × H600 mm, porta anteriore con finestra di osservazione per visualizzare il cannone elettronico e il pezzo.
• Cannone elettronico: un cannone E-type da 10 kW posizionato in basso con paratia pneumatica; angolo di deflessione 270°; crogiuolo in rame raffreddato ad acqua a sei fori (trasponibile elettricamente).
• Evaporazione termica: due sorgenti termiche rotanti (commutabili); sorgente di evaporazione a cannone elettronico SEBG-103C (10 kW, crogiuolo a 4 fori).
• Sistema di vuoto: pompa turbomolecolare FF-200/1200 (raffreddata ad acqua) + pompa meccanica 8 L/s; valvola principale pneumatica GV200 in acciaio inox; tubazioni corrugate DN40; recupero a 5×10^-6 Torr ≤ 40 min; vuoto ultimo 5×10^-7 Torr.
• Controllo del vuoto: unità pompa molecolare + pompa meccanica con valvola a battente pneumatica ad alta precisione e interblocchi; allarmi acqua, gas e perdita fase inclusi.
• Manometro: manometro composito digitale ZDF-5227.
• Controllo centrale: PLC Siemens con touchscreen per controllo centralizzato di vuoto, bake, rotazione, evaporazione, illuminazione e allarmi.
• Meccanismo di fissaggio: portapiastra rotante per substrati 4-inch o 6-inch; velocità di rotazione 0–10 rpm; uniformità film ≤ ±3% nell'area utile (specifica 6-inch).
• Controllo spessore film: interfaccia per quartz crystal gauge; controller spessore (prod. nazionale) con controllo automatico della velocità di evaporazione e del paranco; gauge con 2 sonde.
• Bake: riscaldamento sopra il supporto controllato da termoregolatore digitale; temperatura massima 350 ℃.
• Raffreddamento per cannone: portata ≥ 10 L/min; pressione ingresso ≥ 0.15 MPa; temperatura ingresso ≤ 25 ℃.
• Aggiuntivo: asta di pulizia glow per plasma; MFC D07-7 per controllo flusso gas (1 circuito).
• Host e rack: host 1300 × 1200 × 1600 mm; rack di installazione (profilo acciaio, pannelli verniciati); quadro elettrico 700 × 700 × 1760 mm.

Elenco configurazione (tabella prodotto)

• Camera a vuoto (Φ500 × H600 mm), porta anteriore, SUS304 — Set — Q.tà: 1 — Produttore: DEXINMAG
• Finestra d'osservazione (installata sulla porta, Φ100 mm) — EA — Q.tà: 2 — Produttore: DEXINMAG
• Paratia finestra d'osservazione (vetro oscurante reversibile, manuale) — Set — Q.tà: 2 — Produttore: DEXINMAG
• Piastra anti-sporco (acciaio inox) — Set — Q.tà: 2 — Produttore: DEXINMAG
• Paratia a lamelle (impedisce ingresso polvere nella linea di estrazione) — Set — Q.tà: 1 — Produttore: DEXINMAG
• Pompa turbomolecolare (FF-200/1200, raffreddata ad acqua) — Set — Q.tà: 1 — Made in China
• Pompa meccanica (8 L/s) — Set — Q.tà: 1 — Made in China
• Valvola principale di vuoto (GV200, acciaio inox) — Set — Q.tà: 1 — Produttore: DEXINMAG
• Condotta (tubo corrugato metallico DN40) — Set — Q.tà: 2 — Produttore: DEXINMAG
• Valvola angolare (KF40) — EA — Q.tà: 2 — Produttore: DEXINMAG
• Manometro composito digitale di vuoto (ZDF-5227) — Set — Q.tà: 1 — Made in China
• Controllore di flusso massico gas (D07-7) — Set — Q.tà: 1 — Made in China
• Tavola substrato (uniformità 6-inch ≤ ±3%) — Set — Q.tà: 1 — Produttore: DEXINMAG
• Sorgente evaporazione termica (commutabile) — Gruppo — Q.tà: 2 — Produttore: DEXINMAG
• Sorgente evaporazione cannone elettronico (SEBG-103C, 10 kW, crogiuolo 4 fori) — Set — Q.tà: 1 — Made in China
• Asta pulizia glow (con alimentazione) — Set — Q.tà: 1 — Made in China
• Rack d'installazione (profilo acciaio, verniciato) — Set — Q.tà: 1 — Produttore: DEXINMAG
• Manometro spessore film (2 sonde) — Set — Q.tà: 1 — Made in China
• Alimentazione principale controllo — Set — Q.tà: 1 — Produttore: DEXINMAG

Ricambi (consumabili)

• Cristalli — pcs — Q.tà: 10 — Forniti da DEXINMAG
• Filamento cannone elettronico — pcs — Q.tà: 10 — Forniti da DEXINMAG
• Anello in gomma 19×3.55 — pcs — Q.tà: 10 — Forniti da DEXINMAG
• Vetro piombo finestra D117×10 — pcs — Q.tà: 2 — Forniti da DEXINMAG

Requisiti sito di installazione

• Raffreddamento: temperatura ingresso ≤ 20 ℃; pressione ingresso ≥ 0.3 MPa; portata ≥ 2 m³/h.
• Alimentazione: 380 V / 3 fasi 5 conduttori, 50 Hz; squilibrio ≤ 2%; potenza totale ≥ 30 kW. Monofase 220 V ± 10%. Sezione conduttori neutro e terra ≥ 10 mm².
• Aria compressa: portata ≥ 0.8 m³/min; pressione ≥ 0.6 MPa.
• Bombole gas: numero e specifiche secondo necessità dell'utente; preparare substrati, materiale bersaglio e gas di lavoro (es. argon ad alta purezza).
• Ingombro apparecchiatura: ca. 2 m × 3 m × 2.5 m (H).

Specifiche tecniche

• Dimensione camera: Φ500 mm × H600 mm.
• Vuoto ultimo: 5×10^-7 Torr; recupero a 5×10^-6 Torr ≤ 40 minuti.
• Cannone elettronico: 10 kW; deflessione 270°; crogiuolo rame sei fori raffreddato ad acqua.
• Sorgenti evaporazione: 2 commutabili; cannone elettronico SEBG-103C (10 kW, 4 fori).
• Pompaggio: turbomolecolare FF-200/1200 (raffreddato ad acqua) + pompa meccanica 8 L/s; tubazioni DN40; valvola GV200 inox.
• Controllo spessore: gauge a cristallo di quarzo e controller; 2 sonde; controllo automatico velocità evaporazione e paratie.
• Rotazione: supporta substrati 4-inch o 6-inch; velocità 0–10 rpm; uniformità ≤ ±3% (area utile 6-inch).
• Bake: fino a 350 ℃, controller digitale.
• Raffreddamento (cannone): portata ≥ 10 L/min; pressione ingresso ≥ 0.15 MPa; temp. ingresso ≤ 25 ℃.
• Controllo: PLC Siemens con touchscreen; integrazione vuoto, bake, rotazione, evaporazione, illuminazione e allarmi.
• Dimensione host: 1300 × 1200 × 1600 mm; quadro elettrico: 700 × 700 × 1760 mm.