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- Attrezzatura per il trattamento di superficie
- Macchina di evaporazione sotto vuoto per dispositivi elettronici
- Xiamen Dexing Magnet Tech. Co., Ltd.
Macchina di evaporazione sotto vuoto per cannone ad elettroni DXD-500per lotti di piccole dimensioniper dispositivi elettronici
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Caratteristiche
- Specificazioni
- per cannone ad elettroni, per lotti di piccole dimensioni, per dispositivi elettronici
Descrizione
Panoramica
Composizione
Indice tecnico
Caratteristiche tecniche
- Il sistema di evaporazione a fascio elettronico DXD-500 è progettato per la preparazione di film elettroconduttivi, film semiconduttori, film ferroelettrici e film sottili ottici. Destinato alla ricerca scientifica e alla produzione in piccoli lotti presso università e istituti di ricerca.
Composizione
- Il sistema è costituito dalla camera di evaporazione sotto vuoto, cannone elettronico a forma di E, elettrodo di riscaldamento per evaporazione, piastra rotante riscaldata per substrato, circuito gas di lavoro, sistema di pompaggio, misura del vuoto e sistema di controllo elettronico, macchinari di installazione e accessori correlati.
Indice tecnico
- Modello: DXD-500
- Struttura: camera a cassa a forma di U con porta frontale; sistema di pompe sul retro.
- Dimensioni interne camera a vuoto: 500 × 500 × 600 mm3
- Configurazione del sistema di vuoto: pompa molecolare composta, pompa meccanica, valvola scorrevole
- Pressione ultima: ≤ 6,67×10^-5 Pa (dopo bake e degassificazione)
- Tempo di recupero del vuoto: raggiunge 6,67×10^-4 Pa in 45 min (dopo breve esposizione all'aria e immissione di cloro secco prima dello svuotamento)
- Fonte di evaporazione a fascio elettronico: cannone elettronico a forma di E — tensione polo positivo: 6 kV, 8 kV
- Numero di fonti di evaporazione: 2 sorgenti a fascio elettronico
- Crogiolo: crogiolo raffreddato ad acqua, design a quattro fori; capacità ciascuno: 11 ml
- Potenza cannone elettronico: 0–6 kW regolabile
- Fonte di evaporazione resistiva opzionale: opzioni di tensione 5 V, 10 V; corrente 300 A; potenza massima 3 kW; quantità: 1 set (configurabile)
- Elettrodo raffreddato ad acqua: 3 pezzi (disponibile disposizione in 2 banchi di evaporazione)
- Gestione substrati: accetta substrati fino a 4 pollici; temperatura massima substrato: 800 °C ± 1 °C; rotazione continua: 5–60 rpm; distanza substrato-sorgente regolabile: 300–350 mm; include deflettore campione manuale (1 set)
- Sistema circuito aria/gas: controllore di portata massica — 1 canale
- Controllore di spessore a cristallo di quarzo: intervallo di visualizzazione spessore: 0–99.999 Å (fornito)
- Ingombro / impronta unità principale: 900 × 800 mm2
- Ingombro armadio di controllo elettrico: 800 × 800 mm2 (2 set)
Caratteristiche tecniche
- Modello: DXD-500
- Dimensioni interne camera: 500 × 500 × 600 mm3
- Vuoto ultimo: ≤ 6,67×10^-5 Pa (dopo bake e degassificazione)
- Fonti di evaporazione: 2 cannoni elettronici a forma di E (tensione polo positivo 6 kV o 8 kV); sorgente resistiva opzionale (5/10 V, fino a 3 kW)
- Gamma di potenza di evaporazione (cannone E): 0–6 kW (regolabile)
- Supporto substrato: fino a 4 pollici, rotazione continua 5–60 rpm, temp. max substrato 800 °C ± 1 °C
- Distanza substrato-sorgente: regolabile 300–350 mm
- Pompaggio: pompa molecolare composta + pompa meccanica con valvola scorrevole
- Controllo / monitoraggio: misura del vuoto e sistema di controllo elettronico; monitor di spessore a cristallo di quarzo
- Ingombro: unità principale 900 × 800 mm2; armadi di controllo elettrico 2 × (800 × 800 mm2)
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