Linea di rivestimento sottovuoto Thin Film Solar Cell Continuous Preparation Equipment

a secco

L'apparecchiatura per preparazione continua di celle solari a film sottile CIGS è utilizzata per lo sviluppo e la preparazione su piccola scala di celle solari a film sottile a base di rame, indio, gallio e selenio.

Composizione

• Camera di evaporazione/deposito per rame, indio, gallio e selenio
• Camera di sputtering per molibdeno
• Camera di sputtering per rame/indio/gallio
• Camera di sputtering ZnO
• Camera di foto-incisione laser
• Camera buffer per fabbricazione/processing elettrochimico
• Camera di inserimento campioni (apertura/chiusura manuale)
• Camera di consegna campioni e deposito/dispositivo per campioni
• Forno sorgente del fascio
• Target a controllo magnetico e meccanismo magnetico di trasferimento dei campioni
• Unità di riscaldamento dei campioni e carrello porta-campioni
• Sistema di pompe, sistema di misura del vuoto
• Sistema circuito gas e sistema di controllo elettrico

Specifiche tecniche

• Pressione ultima della camera di deposizione: 6,6×10^-8 Pa
• Pressione ultima della camera di sputtering: 6,6×10^-5 Pa
• Camera di inserimento campioni: apertura/chiusura manuale; capacità: fino a 6 campioni
• Substrato campione: vetro; dimensione tipica: 100 × 100 × 3 mm
• Capacità campioni della camera di sputtering: 1 campione
• Gestione dei campioni: i substrati possono essere riscaldati e trasferiti manualmente a ciascuna stazione correlata in stato di vuoto