Piastra di posizionamento lineare MT130

elettrica1 assedi precisione

MT130 Stadio lineare miniaturizzato EUV 155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, corsa fino a 50 mm, rep 2,3 µm, carico 9 kg, velocità 40 mm/s - Camera bianca: varianti fino alla classe ISO 5 (superiori su richiesta) - Vuoto: tutte le gamme HV / UHV - Fascio di luce: EUV, DUV, UV - Liquido di lubrificazione fino a 10-8 / secco fino a 10-11 mbar - Max. Temperatura di cottura: 120°C Opzioni: - Impilabile per formare un sistema di posizionamento compatto a 3 assi: MP130-3 - Combinabile con lo stadio rotante DT130 - Campo di corsa fino a 80 mm - Sistema di misura ad alta risoluzione - Lubrificazione EUV, lubrificazione UHV senza farina / PFAS - Sviluppo personalizzato con progettazione 3D, prototipi e produzione in serie Asse lineare EUV compatto con motore interno Lo stadio lineare miniaturizzato raggiunge ottimi valori di funzionamento grazie al cuscinetto a rulli incrociati senza gioco. L'azionamento è integrato nel sistema di posizionamento altamente compatto. Il sistema di posizionamento è inoltre dotato di un freno magnetico permanente. Campi di applicazione Posizionamento in dimensioni ridotte in camere bianche EUV, ad esempio telecamera, microscopio/sensore (AFM, WLI), costruzione di sistemi multiasse XYZ salvaspazio, allineatori per l'industria e la ricerca, sistemi di posizionamento compatti per camere bianche, ispezione di wafer, allineamento di sonde per wafer